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全自動・水準器校正装置 CalibManの技術
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全自動・水準器校正装置 CalibManの技術

全自動・水準器校正装置 CalibManの技術

はじめに

CalibManは下記の高性能水準器を自動で校正します。

  • 精密水準器の目視型:DIV=0,02[mm/m]
  • デジタル型:最小測定値=0.001[mm/m]

動作として傾斜支点から500[mm]の位置に傾斜量測定器としてリニアゲージをを配置し、その直近を精密Z軸ステージで微細に上下動することにより校正に指定の傾斜値を設定しています。

校正機器に要求される性能

一般に測定器の校正は校正対象の機器に対し1桁上の精度が要求されます。

CalibManの精度

最小測定値=0.001 [mm/m]の校正にあたり、基準測定器として最小測定値=0.0001[mm]のリニアゲージを傾斜支点から500[mm]の位置で傾斜高さ量を測定しています。
よって、校正分解能は0.0002[mm/m]です。(1[m]先で0.2[μm]の高さとなる傾斜)

傾斜支点から1000[mm]の位置で傾斜高さを測定すると校正分解能は0.0001[mm/m]が可能になりますが以下に記載の傾斜追従性を担保する強固な剛性が要求され校正装置としての汎用性は著しく劣ります。

支点から1000[mm]の傾斜台を有する市販品も存在しますが、総重量は数百[kg]となり校正装置そのものの校正は設置以降、極めて困難、高費用となり、水準器の校正装置として汎用性は担保されません。
また、現在までその校正装置そのものの校正を実施できる機関は存在しません。

よって、CalibManでは傾斜支点から500[mm]での傾斜高さとし校正手法も製品開発時点から公的機関(東京都産業技術研究センター)と共同研究により担保しています。

全自動・水準器校正装置CalibMan

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